华东师范大学学报(自然科学版) ›› 2004, Vol. 2004 ›› Issue (3): 71-75.

• 物理 电子科学技术 • 上一篇    下一篇

一种新型可调式微机械光衰减器

杨震， 李国栋， 彭德艳， 忻佩胜， 赖宗声， 朱自强   

  1. 华东师范大学 信息科学技术学院，上海 200062
  • 收稿日期:2003-03-31 修回日期:2003-04-22 出版日期:2004-09-25 发布日期:2004-09-25
  • 通讯作者: 杨震

A New Static-electronic Driving Variable Optical Attenuator

YANG Zhen,LI Guo-dong,PENG De-yan,XIN Pei-sheng,LAI Zhong-sheng,ZHU Zi-qiang   

  1. Information Science and Technology College,East China Normal University,Shanghai 200062,China
  • Received:2003-03-31 Revised:2003-04-22 Online:2004-09-25 Published:2004-09-25
  • Contact: YANG Zhen

摘要： 讨论基于抗反射结构（Mechanical Anti-Reflection Structure ,MARS）的硅基微机械式光衰减技术的基本原理和相关的制造方法，研制了一种工作在 1 320~1 550nｍ波长范围内的静电力驱动的可调式微机械光衰减器.制备该衰减器使用常规的硅平面工艺，制作简单，成本较低.器件体积小，响应速度快，可适应日益增长的波分复用（wavelength division multiplex,WDM）全光网的发展.

关键词: 微光机电系统, 抗反射结构, 可调式光衰减器, 静电力驱动, 微光机电系统, 抗反射结构, 可调式光衰减器, 静电力驱动

Abstract: Optical attenuator is a key component in a fiber network. This paper reports a new kind of Silicon-based Variable Optical Attenuator(VOA) based on Micro-Opto-Electro-Mechanical System(MOEMS) technique. The device is designed to work on the wavelength range of 1 320 nm to 1 550 nm.

Key words: MARS, variable optical attenuator, static-electronic driving, MOEMS, MARS, variable optical attenuator, static-electronic driving

中图分类号: